制氧機的發展情況：

　　1891年，德國林德公司在冷凍機械制造公司的實驗室開始空氣液化工作。

　　1895年，林德教授利用焦耳--湯姆遜效應制成***臺液體空氣裝置。

　　1901年，林德公司在慕尼黑市建立低溫設備制造車間。

　　1902年，林德設計的***臺單級精餾塔的空分設備制成。法國克勞特發明了膨脹機，在巴黎建立空氣液化公司。

　　1903年，林德公司制成***臺工業性10m3/h的制氧機，采用高壓節流的高壓流程。

　　1910年，法國制成***臺采用中壓帶活塞膨脹機的中壓流程的50m3/h制氧機。

　　1920年，德國海蘭特發明了可生產液氧的高壓帶膨脹機的高壓流程。

　　1924年，法蘭克爾建議在大型空分設備是采用金屬填料的蓄冷器代替一般的熱交換器。

　　1926年，法蘭克爾提出普通形式蓄冷器。

　　1930年，林德公司制成***臺工業規模的林德--法蘭克爾裝置，產量為255m3/h，純度為99.5%O2 。

　　1932年，透平膨脹機***次應用于林德--法蘭克爾裝置上。德國***次在冶金和合成氨工業中用氧。

　　1939年，蘇聯創造了高效率的透平膨脹機，并開始研究全低壓空分設備。

　　1947年，林德公司致力于全底壓工業氧制氧機制造設備。蘇聯開始設計全低壓流程的大型工業氧裝置。

　　1949年，美國***次在29000m3/h制氧機上應用板翹式換熱器。

　　1952年，奧地利首先使用純氧頂吹轉爐煉鋼，促使冶金用氧劇增。

　　1955年，美國大力發展導彈，消耗大量液氧作為助燃劑。

　　1957年，***臺自動操作的120噸/天制氧機制成。

　　1960年，日本完成了10000m3/h99.6%O2和10000m3/h99.99%N2的雙高純度的大型全低壓設備。

　　1972年，法國制成世界上***容量的純氧空分制氧機設備：1700噸/天O2和1500噸/天N2 。

　　目前正在研究更大型的制氧機機組。